• 二氧化氯检测仪

日本新宇宙半导体特气检漏仪XP-703D/XP-703D半导体特气检漏仪/气检漏仪XP-703D

XP-703D（自动吸引式）半导体特气检漏仪 /

Pgm7340/pgm-7340PPB 泵吸式VOC检测仪

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pgm1100/pgm-1100氧气检测仪（O2）

pgm1110/pgm-1110一氧化碳检测仪（CO）

pgm1120/8pgm-1120硫化氢检测仪（H2S）

pgm1190/pgm-1190氯气检测仪（CL2）

pgm1130/pgm-1130二氧化硫检测仪（SO2）

pgm1140/pgm-1140一氧化氮检测仪（NO）

pgm1150/pgm-1150二氧化氮检测仪（NO2）

pgm1170/pgm-1170氰化氢检测仪（HCN）

pgm1187/pgm-1187二氧化氯检测仪（CLO2）

pgm1189/pgm-1189氯气检测仪（CL2）

pgm1191/pgm-1191氨气检测仪（NH3）

pgm1192/pgm-1192磷化氢检测仪（PH3）

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sp1104/sp-1104有毒气体检测器

sp2102/sp-2102可燃气体检测仪

sp2104/sp-2104有毒气体检测仪

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sp4102/sp-4102可燃气体检测器

sp4104/sp-4104有毒气检测器

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技术参数：

• 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪技术参数：

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

（单位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

主要特点：

• 二氧化氯检测仪

XP-703D半导体特气检漏仪产品特点：

1.*适合于检测半导体特气的微量泄漏。

2.采用声光报警。

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